液晶显示器(TFT-LCD)用光刻胶

品名:正性光刻胶
型号:RZJ-395

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主要特征

超高感度
　

高粘附性
　

工艺宽容度大
　

良好的循环显影性能
　

品种规格　

RZJ-395

溶剂PGMEA
（丙二醇甲醚醋酸酯）

15mPa.S

推荐工艺　

匀胶(Coating)：辊涂(roll-coat)1.55μm

前烘(Prebake)：100℃×90sec, Hot plate

曝光(Exposure)：83mJ/cm²(g-line)54mJ/cm²(Aligner)

显影(Developing)：RZX-3038(2.38%TMAH),60℃,Dip or Puddle

后烘(Postbake)：100,120,140℃×120sec

腐蚀(Etching)：HCl/FeCl₃=2/3,45℃

去胶(Strip)：RBL-3368,80℃

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点击次数: 更新时间:2009-10-16 10:14:06 【打印此页】【关闭】