该试剂作为负胶的配套试剂主要用于中、大规模集成电路及其它半导体器件的生产,它与我公司生产的RFJ-220系列的负胶搭配使用效果更为良好。
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RFX-2277
用于环化橡胶负性光刻胶RFJ-220的光刻显影,显影速度快。 |
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RFH-2200
用于环化橡胶负性光刻胶RFJ-220的光刻显影漂洗,漂洗效果好。 |
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| 项目╲试剂 |
RFX-2277 |
RFH-2200 |
| 外观appearance |
无色透明 colourless clear liquid |
密度(g/cm3,25℃)
density |
0.738~0.748 |
0.878~0.884 |
水分(ppm)
water content |
≤300 |
不挥发物(%)
Non-volatile |
≤0.0020 |
金属离子含量
metal content |
Na,K,Mg,Ca,Fe等均小于1ppm |
过滤时滤芯尺寸
filter size |
0.2μm |
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| 方法名称 |
具体操作步骤 |
| 浸渍法(Dip) |
30~60sec浸泡,4000rpm×10~15sec旋转干燥 |
| 下滴法 |
20ml×150sec液体滴下,800rpm×15sec旋转,干燥方法同上 |
| 喷淋法(spray) |
1000rpm×10~15sec旋转喷淋,干燥方法同上 |
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