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负胶显影(漂洗)液

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  • 品名:负胶显影液/负胶显影漂洗液
  • 型号:RFX-2277&RFH-2200
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该试剂作为负胶的配套试剂主要用于中、大规模集成电路及其它半导体器件的生产,它与我公司生产的RFJ-220系列的负胶搭配使用效果更为良好。

主要特征
 
RFX-2277
用于环化橡胶负性光刻胶RFJ-220的光刻显影,显影速度快。
  RFH-2200
用于环化橡胶负性光刻胶RFJ-220的光刻显影漂洗,漂洗效果好。



物化指标 
项目╲试剂 RFX-2277 RFH-2200
外观appearance 无色透明 colourless clear liquid
密度(g/cm3,25℃)
density
0.738~0.748 0.878~0.884
水分(ppm)
water content
≤300
不挥发物(%)
Non-volatile
≤0.0020
金属离子含量
metal content
Na,K,Mg,Ca,Fe等均小于1ppm
过滤时滤芯尺寸
filter size
0.2μm


使用方法(通用) 
方法名称 具体操作步骤
浸渍法(Dip) 30~60sec浸泡,4000rpm×10~15sec旋转干燥
下滴法 20ml×150sec液体滴下,800rpm×15sec旋转,干燥方法同上
喷淋法(spray) 1000rpm×10~15sec旋转喷淋,干燥方法同上


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点击次数:  更新时间:2009-10-13 10:29:25  【打印此页】  【关闭
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