环化橡胶负性光刻胶

品名:负性光刻胶
型号:RFJ-220

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主要特征

高粘附性
　

高感度
　

高留膜率
　

质量稳定一致
　

品种规格　

RFJ-220	溶剂二甲苯 xylene	10mPa.S	30mPa.S	45mPa.S	60mPa.S
RFJ-220	溶剂二甲苯 xylene	100mPa.S	300mPa.S	450mPa.S

推荐工艺　

匀胶(Coating)：旋转涂胶(spin)室温,30sec

前烘(Prebake)：90℃×90sec, Hot plate

曝光(Exposure)：SiO₂ 4_~5mJ/cm²(1.0μm膜厚)

显影(Developing)：RFX-2277 23℃×60sec,Dip or Spray

漂洗(Rinse)：RFP-2202 23℃×60sec,Dip or Spray

后烘(Postbake)：150℃×180sec, Hot plate

腐蚀(Etching)：HF/NH₄F

去胶(Strip)：硫酸双氧水、浓硫酸或等离子去胶

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点击次数: 更新时间:2009-10-16 10:15:32 【打印此页】【关闭】