液晶显示器(TN/STN)用光刻胶

品名:正性光刻胶
型号:RZJ-390

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主要特征

高粘附性
　

高感度
　

高留膜率
　

良好涂布均一性

品种规格　

RZJ-390	溶剂ECA （乙二醇甲醚醋酸酯）	30mPa.S 50mPa.S
RZJ-390PG	溶剂PGMEA （丙二醇甲醚醋酸酯）	30mPa.S 40mPa.S 50mPa.S

推荐工艺　

匀胶(Coating)：辊涂(roll-coat)1.55μm
前烘(Prebake)：100℃×90sec, Hot plate
曝光(Exposure)：60mJ/cm²
显影(Developing)：0.4%NaOH×120SEC,23℃,Dip or Spray
后烘(Postbake)：130℃×120sec
腐蚀(Etching)：HCI/H₂O/FeCI₃=2/1/1,50℃
去胶(Strip)：4_~5%NaOH,50℃

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点击次数: 更新时间:2009-10-16 10:14:32 【打印此页】【关闭】