正性光刻胶配套试剂显影液 RZX-3038

Auxiliary chemicals of positive photo resists Developer 　　主要用于VLSI及TFT-LCD的生产过程中的显影工序。 RZX-3038 is mainly used in the developing process in the production of VLSI and TFT-LCD.

主要特征
卓越的显影功能 　Excellent developing performance 低金属离子含量 　Low metal content

物化指标		名称 指标 TMAH含量m/m% 2.38±0.01 CL含量mg/Kg ≤0.1 金属离子 Na ≤50 K ≤50 Fe ≤50 微粒子浓度(Particle) (直径≥0.5μm,个/ml) ≤100

使用方法		方法名称 具体操作步骤 浸渍法(Dip) 30~60sec，23℃浸泡 喷淋法(Spray) 30~60sec，23℃喷淋 Puddle法 23℃,60sec,static puddle

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