液晶显示器(TFT-LCD)用光刻胶 RZJ-395 （ZPP1850）

Photo resists for TFT-LCD LCD 　　本品主要用于TFT-LCD光刻工艺，具有高感度，高粘附性以及工艺宽容度大等显著特点。 RZJ-395 is used for TFT-LCD processing with excellent wide process latitude, high photo speed, and good adhesion.

主要特征
超高感度 　Ultra high photo speed 高粘附性 　High adhesion on substrates 工艺宽容度大 　Wide process latitude 良好的循环显影性能 　Good performance for recycle 　development process

品种规格		RZJ-395 溶剂PGMEA （丙二醇甲醚醋酸酯） 15mPa.S

推荐工艺		匀胶(Coating)：辊涂(roll-coat)1.55μm 前烘(Prebake)：100℃×90sec, Hot plate 曝光(Exposure)：83mJ/cm2(g-line)54mJ/cm2(Aligner) 显影(Developing)：RZX-3038(2.38%TMAH),60℃,Dip or Puddle 后烘(Postbake)：100,120,140℃×120sec 腐蚀(Etching)：HCl/FeCl3=2/3,45℃ 去胶(Strip)：RBL-3368,80℃

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