液晶显示器(TN/STN)用光刻胶 RZJ-390系列 （ZPP1700）

Photo resists for TN/STN LCD 　　本品主要用于TN/STN-LCD光刻工艺，对基板粘附性极好。良好的曝光宽容度和显影宽容度，显影后留膜率高。 RZJ-390 series are used for TN/STN-LCD process with excellent exposure latitude and developing latitude. Good adhesion on ITO and glass.

主要特征
高粘附性 　Good adhesion 高感度 　High photo speed 高留膜率 　High film thickness retention 良好涂布均一性 　Good coating uniformity

品种规格		RZJ-390 溶剂ECA （乙二醇甲醚醋酸酯） 30mPa.S 50mPa.S RZJ-390PG 溶剂PGMEA （丙二醇甲醚醋酸酯） 30mPa.S 40mPa.S 50mPa.S

推荐工艺		匀胶(Coating)：辊涂(roll-coat)1.55μm 前烘(Prebake)：100℃×90sec, Hot plate 曝光(Exposure)：60mJ/cm2 显影(Developing)：0.4%NaOH×120SEC,23℃,Dip or Spray 后烘(Postbake)：130℃×120sec 腐蚀(Etching)：HCI/H2O/FeCI3=2/1/1,50℃ 去胶(Strip)：4~5%NaOH,50℃

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